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在設計高度使用時科磊(KLA)半導體設備氣動隔振器的安裝

來源:上海松夏減震器有限公司????發布時間:2023-05-23 14:48

理論上氣動隔振器應保持在同一平面上(與地面平行),在不可能達到的情況下,請按照以下指導做:兩個固定裝配點之間的距離至少應是高度值的兩倍。兩個裝配點之間的距離是1170mm.高度是1220mm.因此,這個氣動隔振器的安裝位置不符合我們的指導要求。
有兩個改進方案:1.增加底座尺寸來滿足即增加的寬度至少應該是1220x2=2440mm才能符合我們的要求。2.改變空氣彈簧的安裝位置以達到此目的。在設計高度使用,因為它是保證橫向剛性或穩定性的關鍵點,橫向剛性隨高度降低而減小。注意:當從設計高度向下移動30mm后,氣動隔振器在縱橫方面就不夠穩定了。科磊(KLA)半導體設備氣動隔振器簧安裝位置上下限位裝置一般地,在各個方向即壓縮、延伸及橫向方向都要安裝擋塊。縱向擋塊的定位根據正常運轉,啟動,關閉過程的移動幅度來定。且縱向擋塊要有足夠強度,氣動隔振器的安裝位置以滿足當空氣彈簧失效時支撐起整個振動設備,避免造成設備損壞或人身傷害。經驗得知,縱向擋塊在距設計高度圖12mm處,橫向擋塊是圖12mm(水平位置)。
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