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半導體設備空氣彈簧減震器具有優異的非線性和硬性

來源:上海松夏減震器有限公司????發布時間:2023-05-26 15:58

半導體設備空氣彈簧減震器具有優異的非線性和硬性,能限定震幅,防止共振和沖擊共振頻率能夠設計成非常低,甚至低于1Hz,共振頻率通常為5-7Hz。減振效率遠高于其他減振元件,能夠隔離低頻振動。作為具有可調節的非線性靜態剛度和減震特點的減振元件。其特點是力伴隨著運動速度變化而變化。當導氣彈簧力的作用點移動較快時,彈簧阻力明顯,而作用點移動較慢時,阻力很小。
空氣彈簧一般由奧氏體材料或依據客戶的要求制造。活塞桿行程尺寸8mm的余量,尺寸選擇合理,應力適當。選用球形空氣彈簧和鉸鏈式波紋管,應加裝導向支架,防止波紋管失去了穩定性。選用其他方式,補償管道太長時,還應提供導向支撐。補償管道較長時要采用減小磨擦。
空氣彈簧的密封結構設計大多選用結構,兩邊,端面為光滑突面,兩兩邊用螺釘連接到能夠密封嚴密。隔離外部環境對印壓光刻機的影響,能夠保護壓印機不受低頻激振力的激起。確定了低頻單度減振系統的減振原理,確定了剛度及減振系統的共振頻率,并與實際減振系統的實驗結果相符合,說明印壓光刻機低頻減振設計合理可行。
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